【上海水處理設(shè)備網(wǎng)m.changshenglaw.com】日前，上海發(fā)布《半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放規(guī)范（征求意見稿）詳情如下：

前 言

本文件按照GB/T1.1-2020規(guī)范化工作導(dǎo)則 第1局部：規(guī)范化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》規(guī)定起草。

請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識別專利的責(zé)任。

本文件于2006年11月1日首次發(fā)布，本次修訂為第一次修訂。

本文件對DB31/374-2006主要修訂之處如下：

調(diào)整了水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)范分級；將原第一類污染物兩個(gè)級別的排放規(guī)范調(diào)整為執(zhí)行同一級別的排放規(guī)范，將原第二類污染物三個(gè)級別的直接排放規(guī)范調(diào)整為同一個(gè)級別；調(diào)整了大氣污染物排放規(guī)范的排放速率控制方式，將原來按不同排氣筒高度制定規(guī)范調(diào)整為執(zhí)行同一規(guī)范；

調(diào)整了污染物控制項(xiàng)目：增加了水污染物控制項(xiàng)目石油類、總氮、總磷、陰離子外表活性劑、總鋅、綜合毒性；增加了大氣污染物控制項(xiàng)目顆粒物、氯氣、氮氧化物、苯、錫及其化合物、砷化氫、磷化氫、非甲烷總烴、氰化氫；

調(diào)整了局部污染物項(xiàng)目的排放限值；收嚴(yán)了懸浮物、化學(xué)需氧量、五日生化需氧量、總有機(jī)碳等10項(xiàng)水污染物項(xiàng)目的排放限值；收嚴(yán)了硫酸霧、氯化氫、揮發(fā)性有機(jī)物等3項(xiàng)大氣污染物的排放限值；

增加了廠界大氣污染物控制點(diǎn)濃度限值；

更新了局部污染物項(xiàng)目的測定分析方法。

本文件由上海市生態(tài)環(huán)境局提出、歸口并組織實(shí)施。

本文件起草單位：上海市環(huán)境科學(xué)研究院。

引 言

為貫徹《中華人民共和國環(huán)境維護(hù)法》中華人民共和國大氣污染防治法》中華人民共和國水污染防治法》上海市環(huán)境維護(hù)條例》上海市大氣污染防治條例》引導(dǎo)半導(dǎo)體行業(yè)企業(yè)生產(chǎn)工藝和污染治理技術(shù)的進(jìn)步和可持續(xù)發(fā)展，結(jié)合上海市的實(shí)際情況，對DB31/374-2006半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放規(guī)范》進(jìn)行修訂。

本文件實(shí)施之日起，新制定或新修訂的國家大氣污染物排放規(guī)范嚴(yán)于本文件限值，以及國務(wù)院生態(tài)環(huán)境主管部門或市人民政府發(fā)布執(zhí)行特別排放限值公告的依照從嚴(yán)原則，按適用范圍執(zhí)行相應(yīng)大氣污染物排放規(guī)范。惡臭污染物執(zhí)行DB31/1025本文件實(shí)施后不再執(zhí)行上海市《大氣污染物綜合排放規(guī)范》DB31/933-2015環(huán)境影響評價(jià)文件或排污許可證要求嚴(yán)于本文件或地方規(guī)范時(shí)，依照批復(fù)的環(huán)境影響評價(jià)文件或排污許可證執(zhí)行。

本文件由上海市人民政府202□年□□月□□日批準(zhǔn)。

半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放

1范圍

本文件規(guī)定了半導(dǎo)體行業(yè)企業(yè)水和大氣污染物排放控制要求、監(jiān)測和監(jiān)督管理要求。

本文件適用于半導(dǎo)體行業(yè)企業(yè)或生產(chǎn)設(shè)施的水和大氣污染物排放管理，以及建設(shè)項(xiàng)目的環(huán)境影響評價(jià)、環(huán)境維護(hù)設(shè)施設(shè)計(jì)、竣工環(huán)境維護(hù)驗(yàn)收、排污許可證核發(fā)及其投產(chǎn)后的水和大氣污染物排放管理。

本文件規(guī)定的水污染物排放控制要求適用于半導(dǎo)體行業(yè)企業(yè)直接或間接向其法定邊境外排放水污染物的行為。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。上海反滲透水處理設(shè)備

GB/T7466水質(zhì) 總鉻的測定

GB/T7467水質(zhì) 六價(jià)鉻的測定 二苯碳酰二肼分光光度法

GB/T7470水質(zhì) 鉛的測定 雙硫腙分光光度法

GB/T7471水質(zhì) 鎘的測定 雙硫腙分光光度法

GB/T7475水質(zhì) 銅、鋅、鉛、鎘的測定 原子吸收分光光度法

GB/T7484水質(zhì) 氟化物的測定 離子選擇電極法

GB/T7485水質(zhì) 總砷的測定 二乙基二硫代氨基甲酸銀分光光度法

GB/T7494水質(zhì) 陰離子外表活性劑的測定 亞甲藍(lán)分光光度法

GB/T11893水質(zhì) 總磷的測定 鉬酸銨分光光度法

GB/T11900水質(zhì) 痕量砷的測定 硼氫化鉀-硝酸銀分光光度法

GB/T11901水質(zhì) 懸浮物的測定 重量法

GB/T11907水質(zhì) 銀的測定 火焰原子吸收分光光度法

GB/T11910水質(zhì) 鎳的測定 丁二酮肟分光光度法

GB/T11912水質(zhì) 鎳的測定 火焰原子吸收分光光度法

GB/T16157固定污染源排氣中顆粒物測定與氣態(tài)污染物采樣方法

GB/T16489水質(zhì) 硫化物的測定 亞甲基藍(lán)分光光度法

GB37822揮發(fā)性有機(jī)物無組織排放控制規(guī)范

HJ/T27固定污染源排氣中氯化氫的測定 硫氰酸汞分光光度法

HJ/T28固定污染源排氣中氰化氫的測定 異煙酸-吡唑啉酮分光光度法

HJ/T30固定污染源排氣中氯氣的測定 甲基橙分光光度法

HJ/T38固定污染源排氣中非甲烷總烴的測定 氣相色譜法

HJ/T42固定污染源排氣中氮氧化物的測定 紫外分光光度法

HJ/T43固定污染源排氣中氮氧化物的測定 鹽酸萘乙二胺分光光度法

HJ/T55大氣污染物無組織排放監(jiān)測技術(shù)導(dǎo)則

HJ/T60水質(zhì) 硫化物的測定 碘量法

HJ/T65大氣固定污染源 錫的測定 石墨爐原子吸收分光光度法上海反滲透水處理設(shè)備

HJ/T91.1污水監(jiān)測技術(shù)規(guī)范

HJ/T195水質(zhì) 氨氮的測定 氣相分子吸收光譜法

HJ/T199水質(zhì) 總氮的測定 氣相分子吸收光譜法

HJ/T200水質(zhì) 硫化物的測定 氣相分子吸收光譜法

HJ/T373固定污染源監(jiān)測質(zhì)量保證與質(zhì)量控制技術(shù)規(guī)范（試行）

HJ/T397固定源廢氣監(jiān)測技術(shù)規(guī)范

HJ/T399水質(zhì) 化學(xué)需氧量的測定 快速消解分光光度法

HJ484水質(zhì) 氰化物的測定 容量法和分光光度法

HJ485水質(zhì) 銅的測定 二乙基二硫代氨基甲酸鈉分光光度法

HJ486水質(zhì) 銅的測定 29-二甲基-110-菲啰啉分光光度法

HJ487水質(zhì) 氟化物的測定 茜素磺酸鋯目視比色法

HJ488水質(zhì) 氟化物的測定 氟試劑分光光度法

HJ489水質(zhì) 銀的測定 3,5-Br2-PA DA P分光光度

HJ490水質(zhì) 銀的測定 鎘試劑2B分光光度法

HJ493水質(zhì) 采樣樣品的保管和管理技術(shù)規(guī)定

HJ494水質(zhì) 采樣技術(shù)指導(dǎo)

HJ495水質(zhì) 采樣方案設(shè)計(jì)技術(shù)指導(dǎo)

HJ501水質(zhì) 總有機(jī)碳的測定 燃燒氧化-非分散紅外吸收法上海反滲透水處理設(shè)備

HJ505水質(zhì) 五日生化需氧量(BOD5測定稀釋與接種

HJ533環(huán)境空氣和廢氣 氨的測定 納氏試劑分光光度法

HJ534環(huán)境空氣 氨的測定 次氯酸鈉-水楊酸分光光度法

HJ535水質(zhì) 氨氮的測定 納氏試劑分光光度法

HJ536水質(zhì) 氨氮的測定 水楊酸分光光度法

HJ537水質(zhì) 氨氮的測定 蒸餾-中和滴定法

HJ544固定污染源廢氣 硫酸霧的測定 離子色譜法（暫行）

HJ547固定污染源廢氣 氯氣的測定 碘量法（暫行）

HJ548固定污染源廢氣 氯化氫的測定 硝酸銀容量法（暫行）

HJ549環(huán)境空氣和廢氣 氯化氫的測定 離子色譜法(暫行)

HJ583環(huán)境空氣 苯系物的測定 固體吸附/熱脫附-氣相色譜法

HJ584環(huán)境空氣 苯系物的測定 活性炭吸附/二硫化碳解吸-氣相色譜法

HJ604環(huán)境空氣 總烴、甲烷和非甲烷總烴的測定 直接進(jìn)樣-氣相色譜法

HJ636水質(zhì) 總氮的測定 堿性過硫酸鉀消解紫外分光光度法

HJ637水質(zhì) 石油類和動植物油的測定 紅外分光光度法

HJ657空氣和廢氣 顆粒物中鉛等金屬元素的測定 電感耦合等離子體質(zhì)譜法

HJ659水質(zhì) 氰化物等的測定 真空檢測管-電子比色法

HJ644環(huán)境空氣 揮發(fā)性有機(jī)物的測定 吸附管采樣－熱脫附/氣相色譜－質(zhì)譜法

HJ665水質(zhì) 氨氮的測定 連續(xù)流動-水楊酸分光光度法

HJ666水質(zhì) 氨氮的測定 流動注射-水楊酸分光光度法

HJ667水質(zhì) 總氮的測定 連續(xù)流動-鹽酸萘乙二胺分光光度法

HJ668水質(zhì) 總氮的測定 流動注射-鹽酸萘乙二胺分光光度法

HJ670水質(zhì) 磷酸鹽和總磷的測定 連續(xù)流動-鉬酸銨分光光度法

HJ671水質(zhì) 總磷的測定 流動注射-鉬酸銨分光光度法

HJ688固定污染源廢氣 氟化氫的測定 離子色譜法（暫行）

HJ692固定污染源廢氣 氮氧化物的測定 非分散紅外吸收法

HJ693固定污染源廢氣 氮氧化物的測定 定電位電解法

HJ694水質(zhì) 汞、砷、硒、鉍和銻的測定 原子熒光法

HJ700水質(zhì) 65種元素的測定 電感耦合等離子體質(zhì)譜法

HJ732固定污染源廢氣 揮發(fā)性有機(jī)物的采樣 氣袋法

HJ734固定污染源VOC測定 固相吸附-熱脫附-氣相色譜-質(zhì)譜法

HJ759環(huán)境空氣 揮發(fā)性有機(jī)物的測定 罐采樣/氣相色譜-質(zhì)譜法

HJ776水質(zhì) 32種元素的測定 電感耦合等離子體發(fā)射光譜法

HJ777空氣和廢氣 顆粒物中金屬元素的測定 電感耦合等離子體發(fā)射光譜法上海反滲透水處理設(shè)備

HJ819排污單位自行監(jiān)測技術(shù)指南 總則

HJ823水質(zhì) 氰化物的測定 流動注射-分光光度法

HJ826水質(zhì) 陰離子外表活性劑的測定 流動注射-亞甲基藍(lán)分光光度法

HJ828水質(zhì) 化學(xué)需氧量的測定 重鉻酸鹽法

HJ836固定污染源廢氣 低濃度顆粒物的測定 重量法

HJ905惡臭污染環(huán)境監(jiān)測技術(shù)規(guī)范

HJ908水質(zhì) 六價(jià)鉻的測定 流動注射-二苯碳酰二肼光度法

HJ944排污單位環(huán)境管理臺賬及排污許可證執(zhí)行演講技術(shù)規(guī)范 總則（試行）

HJ970水質(zhì) 石油類的測定 紫外分光光度法（試行）

HJ1069水質(zhì) 急性毒性的測定 斑馬魚卵法

HJ1132固定污染源廢氣 氮氧化物的測定 便攜式紫外吸收法

HJ1147水質(zhì) pH值的測定 電極法

污染源自動監(jiān)控管理方法》國家環(huán)境維護(hù)總局令 第28號）

環(huán)境監(jiān)測管理方法》國家環(huán)境維護(hù)總局令 第39號）

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